測定事例
下記情報はあくまでも当社のお客様の一例となります。品質を保証するための確実な基準ではありませんので、導入の際は、実際にご検証のうえ、測定や品質管理を行っていただくことをおすすめします。
酸素濃度計の使用工程 | 中子(中に空洞がある鋳物を造る時に鋳型の中にはめ込む砂型)を焼く熱処理炉内 |
測定の目的 | 産業用部品をアルミ鋳造する際に使用する中子は、強度・耐熱性・崩壊性の良さが必要であり、焼く際の酸素濃度を管理している |
管理点 | 10~20%O2 |
充填ガス | - |
酸素濃度計の使用工程 | 半導体ウェハーのランプアニール処理工程における炉内の雰囲気ガス |
測定の目的 | ウェハー、基板の酸化防止のため、酸素除去した雰囲気ガスを監視する |
管理点 | 5ppmO2以下 |
充填ガス | Ar |
※実際に導入検討の際は、仕様・機種選定に関するお打ち合わせが必要となります。
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